沉积装置、沉积方法、以及沉积系统

专利号：CN202310116900.1

公布日：2023-06-20

申请人：台湾积体电路制造股份有限公司

薄膜沉积源、沉积装置和使用该沉积装置的沉积方法

专利号：CN201310516033.7

公布日：2017-12-01

申请人：三星显示有限公司

沉积方法、沉积缺陷侦测方法及沉积系统

专利号：CN202110854811.8

公布日：2022-08-19

申请人：台湾积体电路制造股份有限公司

沉积炉管内管、沉积炉管以及沉积方法

专利号：CN201911294112.1

公布日：2023-10-27

申请人：芯恩（青岛）集成电路有限公司

沉积源和包括沉积源的沉积设备

专利号：CN200510121705.X

公布日：2006-08-16

申请人：三星SDI株式会社

沉积设备及其沉积方法

专利号：CN201811293698.5

公布日：2019-02-26

申请人：德淮半导体有限公司

沉积装置及沉积方法

专利号：CN201710116613.5

公布日：2017-10-24

申请人：三星显示有限公司

沉积设备与沉积方法

专利号：CN201610576824.2

公布日：2017-12-29

申请人：黄吉川

沉积设备和沉积方法

专利号：CN202010472906.9

公布日：2020-12-01

申请人：佳能株式会社

沉积设备和沉积方法

专利号：CN201910067427.6

公布日：2019-10-29

申请人：三星显示有限公司

沉积设备及沉积系统

专利号：CN201811315456.1

公布日：2020-05-12

申请人：中天科技精密材料有限公司;江苏中天科技股份有限公司

沉积源及沉积装置

专利号：CN202080005997.3

公布日：2021-09-28

申请人：株式会社爱发科

沉积方法和沉积板

专利号：CN202080053187.5

公布日：2022-03-04

申请人：雀巢产品有限公司

沉积系统及沉积方法

专利号：CN202210032415.1

公布日：2022-10-18

申请人：台湾积体电路制造股份有限公司

沉积装置和沉积方法

专利号：CN202211608227.5

公布日：2023-06-20

申请人：三星显示有限公司